實(shí)際生產(chǎn)中微觀上的表面形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評價(jià)具有直接的影響，而且表面三維評定參數(shù)由于能更全面、更真實(shí)地反映零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視，因此便攜式三維形貌儀的測量就越顯重要。通過對三維形貌的測量可以比較全面地評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣，進(jìn)而確認(rèn)加工方法的好壞及設(shè)計(jì)要求的合理性，這樣就可以反過來通過指導(dǎo)加工、優(yōu)化加工工藝以加工出高質(zhì)量的表面，確保零件使用功能的實(shí)現(xiàn)。

 

　　便攜式三維形貌儀適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。多項(xiàng)式配置、數(shù)據(jù)配置、掃描、屏蔽和插值，交互縮放，X-Y和線段剖面，三維線路、混合和固定繪圖，用于階越高度測量的地區(qū)差異繪圖。

 

　　便攜式三維形貌儀的幾大校準(zhǔn)方法：

　　1、三維形貌校準(zhǔn)：這一校準(zhǔn)都和形貌測量的“高度”結(jié)果相關(guān)，所以稱為三維校準(zhǔn)。主要包括對干涉物鏡參考面形貌誤差的標(biāo)定；以及使用標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階塊對臺(tái)階高度測試精度校準(zhǔn)。

　　2、二維光強(qiáng)校準(zhǔn)：這一校準(zhǔn)和成像視場范圍內(nèi)的“光強(qiáng)”信號相關(guān)。設(shè)備有一些功能，可以增強(qiáng)用戶對樣品表面觀察效果。比如在某觀測模式下，可以自動(dòng)去除視場中黑白條紋，更清楚地觀測表面紋理；真彩模式可以復(fù)現(xiàn)表面彩色信息。

　　由于以上功能相關(guān)標(biāo)定都只涉及“光強(qiáng)”，不涉及到形貌高度，所以稱為二維光強(qiáng)校準(zhǔn)。

　　3、橫向校準(zhǔn)：這一校準(zhǔn)是為了標(biāo)定在當(dāng)前設(shè)置下，每個(gè)像素在橫向上代表的尺寸大小。